본문으로 바로가기

조직도

TOP

소속, 이름, 담당업무, 이메일, 전화번호, 업무
소속 이름 이메일 전화번호 업무
첨단측정장비연구소 소장 강상우 이메일 전화 반도체측정장비팀부서소개
  • 반도체 공정장비 상태진단용 웨이퍼(평판형)형 센서 개발
  • 반도체 공정용 광측정 센서 및 융복합 장비 개발
  • 반도체 공정장비 TTTM (tool to tool matching)용 고정밀 측정장비 기술개발
  • 반도체 공정 장비용 소재 부품 성능 및 신뢰성 측정 기술 개발과 테스트 베드 구축
광영상측정표준팀부서소개
  • 복합 자유곡면 및 다층막 나노소자 3D 분석·측정기술 개발
  • 회절한계 이하 초고분해능·광시야 이미징 측정기술 개발
  • 민군겸용 적응광학계, 레이저 무기체계 및 고해상도 광영상장비 기술 개발
  • 가상·증강현실 디바이스의 광특성 측정기술 개발 및 표준화 확립
우주광학팀부서소개
  • 우주용 고해상도 광학탑재체 개발
  • 지상용 극한환경 대응 광학계 개발
  • 초정밀 대구경 광부품 측정 및 제작기술 개발
  • 대형평면, 자유곡면, 비구면 측정/교정
연구장비성능평가팀부서소개
  • 연구장비 핵심 요소기술 및 부품·모듈 개발
  • 연구장비 측정·분석 알고리즘 및 소프트웨어 개발
  • 연구장비 하드웨어·소프트웨어 신뢰성 및 성능 평가를 위한 플랫폼 개발
  • 측정소급체계에 기반한 신뢰성 및 성능평가 시험절차서 개발
레이저나노공정장비팀부서소개
  • 펨토초 레이저 기반 초정밀 나노 공정 장비 개발
  • In-situ 초고속 초정밀 나노공정 광 측정 장비 개발
  • 레이저 변조 초고분해능 현미경 기술 개발
  • 나노 공정, 나노물질 이미지 및 분광분석 측정장비기술 개발
  • 습식 패터닝 불가능한 단일 원자층 신소재 패터닝 공정 개발
  • 나노다이아몬드 공구 및 광섬유 3차원 패터닝 공정 개발
  • 녹내장 진단을 위한 안압 측정용 스트레처블 디바이스 및 RM 공정 기술 개발
  • 안압 측정용 RM 공정 기술 기반 신개념 안압 측정 원리 개발
원자물성측정팀부서소개
  • 초고진공 저온 주사 터널링 현미경 및 초고진공 변온 원자 힘 현미경 기반 전자소재 미시 물성 측정기술 개발
  • 반도체 불순물 원자의 거동과 전자구조 연구
  • 나노물질 구조 및 전자특성 열전 측정기술 개발
  • DFT(밀도함수론) 기반 전자구조 분석
장비인프라팀부서소개
  • 측정 장비의 신호 처리 및 표준 규격 알고리즘 개발 협력
  • 장비 제어 하드웨어·소프트웨어 구현 및 FPGA 기반 가속화 협력
  • 장비 기구부 설계 및 제작 협력
측정장비데이터검증연구팀부서소개
  • 측정 데이터의 온라인 분석 기술과 정량화, 표준화 기술 연구
  • 온실가스 표준 측정 기술 및 측정불확도 정량화 기술 연구
  • 의료영상장비의 진동 정밀 측정, 분석 및 검증 기술 개발
  • 진동에 의한 의료영상왜곡 데이타 분석 및 영상왜곡 제거 기술 개발
표면분석팀부서소개
  • 초박막 두께측정 및 조성분석 기술개발 및 표준확립
  • 표면분석 기술개발 및 표준확립 (CCQM 및 ISO/TC-201 등)
  • 표면분석을 위한 전산모사 기술 개발 및 응용
  • 표면분석 커뮤니티 활동 (측정클럽, 심포지엄 및 교육 등)
  • 인증표준물질 개발 (다층박막, 합금박막, 산화막 등)
온실가스표준팀부서소개
  • Global Warming Potential : 복사강제력, 대기수명 고정밀 측정기술 및 대체온실가스 GWP 지수 개발
  • Hydrogen fuel quality: 측정 플랫폼 및 표준물질 개발
  • Trace gas analysis : 질량분석학/분자분광학 기반 극미량 온실가스 측정표준 개발
  • Isotope ratio mass spectroscopy: 주요 안정동위원소 (C, N, S, O, H) 측정표준 및 가스 표준물질 개발
  • High precision spectroscopy: Optical Frequency Comb 및 High resolution FTIR 기반 분자분광학 측정기술 개발
첨단측정장비연구소 이승아 이메일 전화
첨단측정장비연구소 나영재 이메일 전화
반도체측정장비팀 팀장 제갈원 이메일 전화
반도체측정장비팀 김정형 이메일 전화
반도체측정장비팀 조용재 이메일 전화
반도체측정장비팀 김준오 이메일 전화
반도체측정장비팀 이효창 새 창 이메일 전화
반도체측정장비팀 문지훈 이메일 전화
반도체측정장비팀 박준익 이메일 전화

이메일 주소 확인

보이는 순서대로 숫자 및 문자를 모두 입력해주세요.

보안문자를 입력 후 확인 버튼을 누르세요.

레이어팝업 닫기
QUICK MENU

QUICK MENU 원하시는 서비스를 클릭하세요!

등록된 퀵메뉴가 없습니다.

등록된 배너가 없습니다.