| 첨단측정장비연구소 |
소장 강상우 |
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반도체측정장비팀부서소개
- 반도체 공정장비 상태진단용 웨이퍼(평판형)형 센서 개발
- 반도체 공정용 광측정 센서 및 융복합 장비 개발
- 반도체 공정장비 TTTM (tool to tool matching)용 고정밀 측정장비 기술개발
- 반도체 공정 장비용 소재 부품 성능 및 신뢰성 측정 기술 개발과 테스트 베드 구축
광영상측정표준팀부서소개
- 복합 자유곡면 및 다층막 나노소자 3D 분석·측정기술 개발
- 회절한계 이하 초고분해능·광시야 이미징 측정기술 개발
- 민군겸용 적응광학계, 레이저 무기체계 및 고해상도 광영상장비 기술 개발
- 가상·증강현실 디바이스의 광특성 측정기술 개발 및 표준화 확립
우주광학팀부서소개
- 우주용 고해상도 광학탑재체 개발
- 지상용 극한환경 대응 광학계 개발
- 초정밀 대구경 광부품 측정 및 제작기술 개발
- 대형평면, 자유곡면, 비구면 측정/교정
연구장비성능평가팀부서소개
- 연구장비 핵심 요소기술 및 부품·모듈 개발
- 연구장비 측정·분석 알고리즘 및 소프트웨어 개발
- 연구장비 하드웨어·소프트웨어 신뢰성 및 성능 평가를 위한 플랫폼 개발
- 측정소급체계에 기반한 신뢰성 및 성능평가 시험절차서 개발
레이저나노공정장비팀부서소개
- 펨토초 레이저 기반 초정밀 나노 공정 장비 개발
- In-situ 초고속 초정밀 나노공정 광 측정 장비 개발
- 레이저 변조 초고분해능 현미경 기술 개발
- 나노 공정, 나노물질 이미지 및 분광분석 측정장비기술 개발
- 습식 패터닝 불가능한 단일 원자층 신소재 패터닝 공정 개발
- 나노다이아몬드 공구 및 광섬유 3차원 패터닝 공정 개발
- 녹내장 진단을 위한 안압 측정용 스트레처블 디바이스 및 RM 공정 기술 개발
- 안압 측정용 RM 공정 기술 기반 신개념 안압 측정 원리 개발
원자물성측정팀부서소개
- 초고진공 저온 주사 터널링 현미경 및 초고진공 변온 원자 힘 현미경 기반 전자소재 미시 물성 측정기술 개발
- 반도체 불순물 원자의 거동과 전자구조 연구
- 나노물질 구조 및 전자특성 열전 측정기술 개발
- DFT(밀도함수론) 기반 전자구조 분석
장비인프라팀부서소개
- 측정 장비의 신호 처리 및 표준 규격 알고리즘 개발 협력
- 장비 제어 하드웨어·소프트웨어 구현 및 FPGA 기반 가속화 협력
- 장비 기구부 설계 및 제작 협력
측정장비데이터검증연구팀부서소개
- 측정 데이터의 온라인 분석 기술과 정량화, 표준화 기술 연구
- 온실가스 표준 측정 기술 및 측정불확도 정량화 기술 연구
- 의료영상장비의 진동 정밀 측정, 분석 및 검증 기술 개발
- 진동에 의한 의료영상왜곡 데이타 분석 및 영상왜곡 제거 기술 개발
표면분석팀부서소개
- 초박막 두께측정 및 조성분석 기술개발 및 표준확립
- 표면분석 기술개발 및 표준확립 (CCQM 및 ISO/TC-201 등)
- 표면분석을 위한 전산모사 기술 개발 및 응용
- 표면분석 커뮤니티 활동 (측정클럽, 심포지엄 및 교육 등)
- 인증표준물질 개발 (다층박막, 합금박막, 산화막 등)
온실가스표준팀부서소개
- Global Warming Potential : 복사강제력, 대기수명 고정밀 측정기술 및 대체온실가스 GWP 지수 개발
- Hydrogen fuel quality: 측정 플랫폼 및 표준물질 개발
- Trace gas analysis : 질량분석학/분자분광학 기반 극미량 온실가스 측정표준 개발
- Isotope ratio mass spectroscopy: 주요 안정동위원소 (C, N, S, O, H) 측정표준 및 가스 표준물질 개발
- High precision spectroscopy: Optical Frequency Comb 및 High resolution FTIR 기반 분자분광학 측정기술 개발
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