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특허

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특허 목록을 담은 표로, 번호, 특허명, 출원자, 국가, 출원일 항목으로 구성되어 있습니다.
번호 특허명 출원자 국가 출원일
10-2484108 2차원 각도 변위 측정 장치 김종안,이재용,강주식,김재완,우제흔 한국 2022-12-29
10-2456440 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치 이혁교,김영광,김영식 한국 2022-10-14
11466978 편광에 따른 각도분해 분광간섭 영상을 이용한 다층박막 두께 및 굴절률 측정장치 및 측정방법 김영식,이혁교 미국 2022-10-11
11486700 복합패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 자유곡면의 3차원 형상측정시스템 및 측정방법 김영식,이혁교,마익 미국 2022-09-23
11378665 거리측정 장치 및 거리 측정 방법 김재완,이재용,우제흔,김종안,홍영표 미국 2022-07-05
10-2391066 다층박막 두께 및 형상 측정을 위한 진동둔감 간섭계 김영식,이혁교,서용범 한국 2022-04-22
10-2385116 VR 또는 AR 기기용 렌즈의 왜곡 측정방법 강필성,김영식,양동근 한국 2022-04-06
10-2385110 정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM 및 이를 이용한 보정방법 안희경,이휘형 한국 2022-04-06
ZL201910073090.X 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 장치, 및 컬러 스케일 김종안,이재용,김재완,우제흔,진종한 중국 2022-03-22
10-2366954 편향측정법을 이용한 자유곡면 3차원 형상측정시스템 및 형상측정방법 김영식,마익,유준호,이혁교 한국 2022-02-21
11243070 단일 샷 각도분해 분광 반사광 측정법을 이용한 다층박막 두께 측정장치 및 측정방법 김영식,이혁교 미국 2022-02-08
7001835 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템 및 방법 김영식,이혁교,마익 일본 2021-12-28
111060003 3 자유도 평면 정렬 장치 김종안,김재완,우제흔,이재용 중국 2021-10-15
10-2315010 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 FPM 안희경,이휘형 한국 2021-10-14
10-2315016 조각거울과 가림막을 이용한 반사형 FPM 안희경,전병혁 한국 2021-10-14
111060002 2차원 절대 위치 측정 방법 및 절대 위치 측정 장치 김종안,김재완,우제흔,이재용 중국 2021-08-10
10-2240190 VR 또는 AR 기기용 렌즈와 광학계 광학특성 측정시스템 강필성,김영식,양동근 한국 2021-04-08
10-2233677 멀티스케일 두께 측정 광학 장치 진종한,박정재 한국 2021-03-24
109644234 거리 측정 장치 및 거리 측정 장치의 동작 방법 김재완,김종안,이재용,홍영표,우제흔 중국 2021-03-16
10-2229604 교정이 가능한 VR 또는 AR 기기 광영상 측정시스템 및 측정방법 강필성,임현균,안봉영,김영식,안희경 한국 2021-03-12
10-2222915 모듈 전환형 VR 또는 AR 기기 광영상 측정시스템 및 측정방법 강필성,안희경,김영식,안봉영,임현균 한국 2021-02-25
10-2218015 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정시스템 및 측정방법 안희경,이휘형 한국 2021-02-15
10-2205597 단일 샷 각도분해 분광 반사광 측정법을 이용한 다층박막 두께 측정장치 및 측정방법 김영식,이혁교 한국 2021-01-15
10801864 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 장치 및 컬러스케일 김종안,진종한,우제흔,이재용,김재완 미국 2020-10-13
10-2156431 거리 측정 장치 및 거리 측정 장치의 동작 방법 우제흔,김종안,김재완,홍영표,이재용 한국 2020-09-09
10-2132559 복굴절 매질을 이용한 층밀리기 간섭계 기반의 실시간 자유 곡면 3차원 형상 측정장치 및 측정방법 주기남,김영식,이혁교,정효빈,서용범 한국 2020-07-03
10-2130576 측정 불가 영역을 극복한 두께 및 굴절률 측정 장치 진종한,박정재,모리 히로키,이준영 한국 2020-06-30
10-2082476 2차원 절대 위치 측정 방법 및 절대 위치 측정 장치 김재완,김종안,이재용,우제흔 한국 2020-02-21
10466031 영상분광광학계를 이용한 다층막 구조물의 두께와 형상 측정장치 및 측정방법 이윤우,김영식,이혁교 미국 2019-11-05
10-2041890 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 컬러 스케일 김종안,우제흔,김재완,이재용,진종한 한국 2019-11-01
10-2041881 3자유도 평면 정렬 장치 김재완,이재용,우제흔,김종안 한국 2019-11-01
10-2039426 공기 부상 박막 두께 측정 장치 박정재,진종한 한국 2019-10-28
10-2015219 복합 패턴을 이용한 초고속 편향 측정법을 이용한 자유곡면의 3차원 형상측정시스템 및 측정방법 이혁교,마익,김영식 한국 2019-08-21
10-2015216 편광에 따른 각도분해 분광간섭 영상을 이용한 다층박막 두께 및 굴절률 측정장치 및 측정방법 김영식,이혁교 한국 2019-08-21
10-2004614 진공흡착을 이용한 얇은 반사경 모재 굽힘장치 및 그 작동방법 강필성,양호순 한국 2019-07-22
10-1987402 광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치 진종한,박정재,김종안,김재완 한국 2019-06-03
10-1969642 레이저트래커헤드와 SMR을 이용한 미러형상 측정 및 연삭 기능이 가능한 다관절모션시스템 및 그 작동방법 전병혁,양호순,안희경,문일권,이윤우 한국 2019-04-10
10-1969637 대구경 미러 연마기의 연마제 자동 주입 장치 및 방법 전병혁,이윤우,양호순 한국 2019-04-10
10-1968916 반사면 프로파일 측정 방법 및 장치 김종안,이재용,엄태봉,진종한,김재완 한국 2019-04-09
10-1959665 위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입(Gentry type)의 볼(Ball) 접촉식 3차원 측정 시스템, 그 작동방법, 그 작동방법이 컴퓨터프로그램 및 기록매체 양호순,안희경,김영식,강혁모 한국 2019-03-12
10-1955847 위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템 및 방법 김영식,이혁교,마익 한국 2019-02-28
10-1937043 각도분해 분광 반사광측정법을 이용한 다층박막 두께 및 굴절률 측정장치 및 측정방법 김영식,이혁교 한국 2019-01-03
10-1913948 연마장치와 영상카메라 및 간섭계를 이용한 연마기의 위치보정시스템 및 그 작동방법 전병혁,안희경 한국 2018-10-25
10-1913496 광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치 및 그 작동방법 양호순,이윤우,김영식,이혁교 한국 2018-10-24
10-1890161 오염 입자 검사를 위한 차동 영상 이미징 장치 및 측정 방법 이재용,김재완,박주현,김종안 한국 2018-08-14
10-1886919 영상분광광학계를 이용한 다층막 구조물의 두께와 형상 측정장치 및 측정방법 이윤우,김영식,이혁교 한국 2018-08-02
10-1879641 수심 라이다 파형 분석을 통한 탁도 측정 방법 우제흔,김종안,이재용,김재완 한국 2018-07-12
104279969 두께 측정 장치 및 두께측정 방법 강주식,진종한,김재완,김종안 중국 2018-06-01
104279968 두께 측정 장치 강주식,김종안,진종한,김재완 중국 2018-05-22
10-1857601 IoT 기반 비접촉식 수위계 현장교정용 표준교정시스템 및 교정방법 강주식,김일한,신강욱,홍성택 한국 2018-05-08
9927224 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법 김종안,김재완,이재용,우제흔 미국 2018-03-27
9921051 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법 강주식,김종안,김재완,진종한 미국 2018-03-20
9863814 1차 미분 측정기의 동작 방법 이혁교,김영식,양호순,이윤우 미국 2018-01-09
10-1817853 회전 반사미러를 이용한 파장가변 레이저 공진기 및 그 공진기를 이용한 파장가변 공진방법 이혁교,이윤우,김기철,김영식 한국 2018-01-05
10-1792632 측정 불가 구간과 방향 모호성이 없는 절대거리 측정을 위한 분광형 간섭계 시스템 김종안,진종한,박정재,김재완 한국 2017-10-26
10-1774779 거리 측정 장치 및 거리 측정 장치의 동작 방법 김재완,이재용,우제흔,홍영표,김종안 한국 2017-08-30
10-1764122 질량분석기 전극 오염물 제거를 위한 레이저 클리닝 장치 및 방법 이재용,이상원,이은성,김종안 한국 2017-07-27
10-1755158 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법, 노광장치, 그 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법 및 제조장치 이혁교,이윤우,김영광,양호순,김영식 한국 2017-06-30
10-1748084 광학계 가공에서의 툴 영향함수 모델링 방법, 그 모델링 방법을 적용한 광학계 가공장치, 가공방법 및 그 기록매체 이혁교,김영식,김기철,이윤우,양호순 한국 2017-06-09
9651403 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일 김종안,진종한,김재완,강주식,엄태봉 미국 2017-05-16
10-1733298 대형 유리기판의 물리적 두께 프로파일 및 굴절률 분포 측정을 위한 광간섭계 시스템 김재완,박정재,진종한,김종안 한국 2017-04-27
104204720 투명 기판 모니터링 장치 및 투명기판 측정 방법 강주식,엄태봉,김재완,김종안,진종한 중국 2017-03-01
10-1642473 원격검출용 주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광장치 및 방법 이재용,김재완,우제흔,박정재 한국 2016-07-19
10-1632269 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 방법 이재용,박정재,우제흔,김재완 한국 2016-06-15
10-1596290 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법 김종안,우제흔,이재용,김재완 한국 2016-02-16
9223223 레이저 주사 방식에서 편광 간섭무늬방향의 변환이 가능한 미세 패턴제조장치 및 그 제조장치를 이용한 미세패턴 제조방법 이혁교,이윤우 미국 2015-12-29
10-1566383 기하학적 두께와 굴절률 측정을 위한 반사형 광섬유 간섭 장치 진종한,김재완,강주식,김종안 한국 2015-10-30
10-1554205 파장주사 층밀리기 간섭계를 이용한 자유곡면의 삼차원 형상 측정 장치 김영식,이윤우,이혁교,이주형,양호순 한국 2015-09-14
10-1554203 두께 측정 장치 김재완,진종한,강주식,김종안 한국 2015-09-14
10-1552652 1차 미분 측정기의 동작 방법 이혁교,양호순,김영식,이윤우 한국 2015-09-07
9121696 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법 진종한,김종안,김재완,강주식 미국 2015-09-01
10-1544962 기하학적 두께와 굴절률 측정을 위한 투과형 광섬유 간섭 장치 진종한,김재완,강주식,김종안 한국 2015-08-10
10-1533994 광섬유를 이용한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 동시 측정 장치 및 방법 진종한,김종안,김재완,강주식 한국 2015-06-30
10-1515408 경량화가공부를 포함하는 대구경미러의 자동에칭장치 및 그 대구경미러의 자동에칭방법 전병혁,이윤우,양호순,이혁교 한국 2015-04-21
10-1486271 삼차원 박막두께 형상 측정법 김영식,이윤우,이혁교,양호순 한국 2015-01-20
10-1486272 투명 기판 모니터링 장치 및 투명 기판 측정 방법 김재완,김종안,엄태봉,강주식 한국 2015-01-20
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