▲ 좌) KEIT 전윤종 원장, 우)KRISS 이호성 원장

 

지난 3월 12일, 산업기술평가관리원(이하 ‘KEIT’) 전윤종 원장이 KRISS를 방문했다. 이번 방문은 탄소중립기술 인증평가 플랫폼 구축 협력 방안을 모색하기 위해 이루어졌다. 이 자리에서 그동안 진행되어온 산업기술평가관리원과 KRISS간의 R&D과제* 수행 네트워크를 기반으로 반도체·디스플레이 업종 탄소중립기술 상용화를 위한 인증평가체계 구축사업에 대한 의견을 나눴다.

* 산업부 탄소중립산업 핵심기술 개발 사업 “반도체 식각공정 온실가스 모니터링 및 분석기술 개발” (`23. 7. 1. ~ `30. 12. 31)

 

▲ KRISS 전략기술연구소 강상우 소장

 

KRISS 전략기술연구소 강상우 소장은 “반도체·디스플레이 분야의 탄소배출저감 관련 측정표준이 부재해 반도체 공정 중에 발생하는 가스 물질의 GWP 인증을 위한 정확한 기준 제시가 어려웠다.”며, “이번 플랫폼 구축사업으로 KRISS가 보유하고 있는 세계적인 측정능력을 바탕으로 반도체 공정분야에서 GWP인증 절차와 측정분석을 통한 정확한 기준 제시가 가능할 것”이라고 밝혔다. 또한 “최근 유럽을 중심으로 법률제정 등 탄소장벽이 더욱 높아지고 있어 향후 국가 핵심산업인 반도체 산업에 어려움이 예상되기에 탄소중립 인증평가 체계 확립이 반드시 필요하다.”고 말했다.

 

▲ 반도체 공정 관련 탄소중립 간담회

 

회의에 참석한 산업기술평가관리원 반도체공정장비 이정호 PD는 “과거 산업기술평가관리원의 반도체 분야 사업 이전에는 반도체 분야와 KRISS의 측정과학 및 분석기술의 연관성을 크게 깨닫지 못했다.” 면서 “최근 반도체의 적층화와 초미세화가 진행됨에 따라 반도체 공정에서 측정평가기술이 더욱 중요해질 것으로 보여 해당 분야에서 KRISS 역량이 필요하다.”고 밝혔다.

 

기업성장본부 봉충종 본부장은 “탄소중립 플랫폼 사업이 예타사업에서 제외되었으나 삼성, 하이닉스 등을 중심으로 지속적인 산업계 요구가 있어 반도체 공정 분야의 탄소중립 문제를 별도로 다루게 되었다.”라고 강조하면서 “반도체 산업계의 탄소중립 관리 체계에서 KRISS 역할이 기대된다.”고 부연했다.

 

▲ KEIT 전윤종 원장

 

KEIT 전윤종 원장은 “반도체 산업은 국가적으로 중요한 산업분야이므로 탄소중립을 포함한 반도체 공정장비분야에서 각 기관이 역할을 충실하게 수행한다면, 산업계에 긍정적인 영향을 줄 수 있을 것” 이라며, KRISS와의 지속적인 협력네트워크를 강조했다.

 

▲ KRISS 이호성 원장

 

이호성 원장은 “KRISS가 산업계 전반에 걸쳐 과학적 뿌리를 제공하고 있음에도 국민이 체감할 수 있는 성과가 적다 보니 대외적으로 KRISS의 기술 수준에 대해서 명확하게 알리기 어려운 부분이 있다.”

“전문기관에 KRISS의 기술 수준과 역할을 명확하게 공유하고, 향후 양자기술, 반도체 공정 및 소재분야에서 KRISS 본연의 임무를 다하겠다.”고 밝혔다.

 

▲ 랩투어 및 산업부 사업 진행사항 설명

,(좌) 반도체디스플레이측정그룹 임정식 책임연구원

 

산업기술평가관리원 일행은 플랫폼 구축사업 간담회 이후 랩투어를 통해 산업부 과제를 수행 중인 반도체디스플레이측정그룹 임정식 책임연구원의 연구실을 방문하여 사업수행 현황 및 향후 계획 설명을 들었다. 그 외 양자컴퓨팅연구실을 방문하여 양자컴퓨팅 개발 현황과 내용에 높은 관심을 보였으며 뉴턴의 사과나무를 둘러보며 일정을 마무리 했다. 이번 방문을 계기로 추후 KRISS-KEIT 간 탄소중립 기술인증?평가기술 플랫폼 업무협약이 추진될 예정이다.

 

▲ KRISS 뉴턴의 사과나무 앞 단체사진

(좌측부터) KRISS 강노원 성과정책본부장 , KRISS 박연규 부원장 , KEIT 전윤종 원장, KEIT 봉충종 기업성장본부장, KRISS 강상우 전략기술연구소장, KEIT 미래반도체실 이정호 PD, KEIT 이건재 탄소중립기업성장실장