반도체디스플레이측정그룹소개
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반도체디스플레이측정그룹은 반도체 및 디스플레이 관련 분야의 측정과학기술을 연구개발하고 있습니다. 이러한 측정과학기술을 기반으로 첨단소자 제조 공정의 실시간 진단, 광학물성·오페란도 측정, 화합물·이차원 신소재 반도체 센서 기술개발 및 첨단소자 제조공정용 소재, 부품, 장비 성능평가 서비스 제공을 통해 국가전략기술의 지속성장에 기여하고자 합니다.
주요 연구분야
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1
플라즈마 밀도, 오염입자 등 공정 모니터링 센서기술 및 탄소중립 공정진단 기술개발
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2
광학물성 및 오페란도 측정기술 개발
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3
반도체·디스플레이 첨단소자 제조공정용 소재·부품·장비 기초성능평가 기술 개발
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4
고품질 화합물 반도체 및 이차원 신소재 반도체 소재·소자 공정기술 개발
주요성과
- 직경 300mm급 박막두께 인증표준물질 개발
- 차세대 진공 소재·부품·장비 종합성능평가 인프라 구축 및 측정 서비스 제공
- 깊이 분해능 8.3 nm 이하 OLED용 유기박막 분석기술
- 고품질 화합물 반도체를 사용한 단·중파장 적외선 이중대역 동시검출 센서 개발 및 적외선 초분광 이미징 센서 개발
- 기후온난화지수 산출 위한 복사강제력 측정표준 개발
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