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특허

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특허 목록을 담은 표로, 번호, 특허명, 출원자, 국가, 출원일 항목으로 구성되어 있습니다.
번호 특허명 출원자 국가 출원일
10-2193694 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척 이효창,성대진,김정형 한국 2020-12-15
10-2193678 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 웨이퍼형 플라즈마 진단 장치 이효창,김정형,성대진 한국 2020-12-15
10-2178201 플라즈마 점화 장치를 포함하는 반도체 제조 장치 및 그 방법 이효창,성대진,김정형 한국 2020-11-06
10-2162826 평면형 플라즈마 진단 장치 이효창,성대진,김정형,염희중 한국 2020-09-28
10-2139988 수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법 조용재,조현모,제갈원 한국 2020-07-27
10-2139995 수직입사 및 경사입사 결합형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법 조용재,제갈원,조현모 한국 2020-07-27
10-2119757 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서 및 그 제조 방법 제갈원,강상우,권수용,김용규 한국 2020-06-01
107429990 무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 조용재,조현모,제갈원 중국 2019-10-15
10-2011456 결정화된 반도체 입자의 증착을 위한 반도체 소자 제조 장치 및 방법 성대진,이효창,김정형 한국 2019-08-09
10317334 무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 조용재,제갈원,조현모 미국 2019-06-11
10-1974165 전이금속 디칼코게나이드 박막의 상전이 방법 및 장치 김태완,이효창,강상우,김정형,성대진 한국 2019-04-24
10-1974005 유도 가열 증발 증착 장치 김정형 한국 2019-04-24
10-1972739 반도체 소자 및 반도체 소자의 제조방법 김태완,이효창,김정형,강상우 한국 2019-04-20
10145785 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법 조용재,제갈원,조현모 미국 2018-12-04
10-1918602 적외선 발광 다이오드 및 적외선 가스 센서 김영호,이상준,김준오 한국 2018-11-08
10-1916029 플라즈마 활성종 발생 장치 성대진,이효창,김정형 한국 2018-11-01
105492889 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법 조용재,조현모,제갈원 중국 2018-06-08
10-1850895 플라즈마 발생장치 성대진,김정형,이효창 한국 2018-04-16
10-1756325 평면형 플라즈마 진단 장치 김정형,김대웅,유신재,성대진 한국 2017-07-04
10-1749570 유도 가열 선형 증발 증착 장치 김정형 한국 2017-06-15
9581498 광소자 회전형 분광타원계측기 및 광소자 회전형 분광타원계측기의 측정 정밀도 예측 방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 저장된 기록매체 및 이를 구현하기 위해 매체에 저장된 컴퓨터프로그램 조용재,제갈원,조현모 미국 2017-02-28
10-1698022 무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 조용재,제갈원,조현모 한국 2017-01-13
10-1590389 광소자 회전형 분광타원계측기 및 광소자 회전형 분광타원계측기의 측정 정밀도 예측 방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 저장된 기록매체 및 이를 구현하기 위해 매체에 저장된 컴퓨터프로그램 조용재,제갈원,조현모 한국 2016-01-26
10-1509054 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법 조현모,조용재,제갈원 한국 2015-03-31
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