첨단측정장비연구소 연구원1
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첨단측정장비연구소

세계최고 수준의 측정기술을 기반으로 첨단장비를 개발합니다.

첨단측정장비연구소는 KRISS의 세계적 수준의 측정기술을 장비화하여 외부 수요에 대응하고 있으며, 보유 인프라를 활용하여 측정기술 장비화 지원 및 성능검증 플랫폼 개발업무를 수행하고 있습니다.

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첨단측정장비연구소는 KRISS의 측정기술을 장비화하여 외부 수요에 대응하고 있으며, 각종 측정기술 및 아이디어의 장비화 지원, 장비용 공통 플랫폼 개발업무를 수행하고 있습니다.

반도체측정장비팀

반도체측정장비팀은 차세대 반도체 제조공정의 측정한계 극복을 위해 고정밀 실시간 공정진단 센서, 광측정기술 기반 측정분석 장비개발, 공정장비와 측정장비의 융복합화 기술(Integrated Metrology) 개발을 목표로 하고 있습니다. 성공적인 개발을 위해 반도체 및 관련 산업체(소자, 장비, 센서, framework 업체 등), 학계, 연구기관과의 유기적인 산학연 협력체계를 구축하고 활발히 교류하고 있습니다.

주요 연구분야
  • 반도체 공정장비 상태진단용 웨이퍼(평판형)형 센서 개발
  • 반도체 공정용 광측정 센서 및 융복합 장비 개발
  • 반도체 공정장비 TTTM (tool to tool matching)용 고정밀 측정장비 기술개발
  • 반도체 공정 장비용 소재 부품 성능 및 신뢰성 측정 기술 개발과 테스트 베드 구축
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광영상측정표준팀

광영상측정표준팀은 미래 산업 및 첨단 국방 수요에 대응하기 위한 능동·지능형 스마트 광영상측정 원천기술 개발, 세계 최고 수준의 광영상측정장비의 상용화 및 실증, 고부가가치 차세대 측정 표준화 확립, 산업계 기술 보급을 목표로 하고 있습니다. 세계 최고의 광영상 측정그룹으로 도약하고자 각 연구 분야의 국내·외 산학연 전문가들과 협력하고 있습니다.

주요 연구분야
  • 복합 자유곡면 및 다층막 나노소자 3D 분석·측정기술 개발
  • 회절한계 이하 초고분해능·광시야 이미징 측정기술 개발
  • 민군겸용 적응광학계, 레이저 무기체계 및 고해상도 광영상장비 기술 개발
  • 가상·증강현실 디바이스의 광특성 측정기술 개발 및 표준화 확립
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우주광학팀

우주광학팀은 우주용 인공위성 카메라와 지상용 천체망원경의 반사경부터 방사광가속기용 극자외선 초정밀 반사경에 이르기까지 천문, 우주 및 첨단과학 분야에 필요한 도전적인 광학계 개발을 목표로 하고 있습니다. 우주광학팀은 국내 최초로 인공위성용 반사경을 국산화했으며, 각 분야 전문가들로 구성된 팀원들과 함께 국내외 산학연과의 유기적인 협력을 통해서 고부가가치 미개척 광학계 개발에 집중하고 있습니다.

주요 연구분야
  • 우주용 고해상도 광학탑재체 개발
  • 지상용 극한환경 대응 광학계 개발
  • 초정밀 대구경 광부품 측정 및 제작기술 개발
  • 대형평면, 자유곡면, 비구면 측정/교정
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연구장비플랫폼팀

연구장비플랫폼팀은 국산연구장비의 경쟁력 강화와 신뢰성 향상을 위하여, 표준연의 축적된 연구장비 개발기술과 측정·표준기술 기반으로 연구장비의 하드웨어와 소프트웨어 성능평가를 위한 플랫폼 개발을 목표로 하고 있습니다. 구축한 플랫폼을 기반으로 시험·평가 절차를 개발하고 산·학·연에 보급 및 지원하며 활발한 교류를 하고 있습니다.

주요 연구분야
  • 연구장비 핵심 요소기술 및 부품·모듈 개발
  • 연구장비 측정·분석 알고리즘 및 소프트웨어 개발
  • 연구장비 하드웨어·소프트웨어 신뢰성 및 성능 평가를 위한 플랫폼 개발
  • 측정소급체계에 기반한 신뢰성 및 성능평가 시험절차서 개발
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레이저나노공정 장비팀

레이저나노공정장비팀은 초정밀-고속 광 측정 장치를 탑재한 초고속 레이저 기반 나노공정장비 기술확보를 위해 펨토초 레이저 나노 공정 기술 및 장비 기술을 개발하고 있습니다. 펨토초 레이저 기반 나노공정은 기존의 습식 공정으로는 어려웠던 단일 원자층 신소재 소자의 초미세 패터닝 공정과 녹내장 진단을 위한 안압계 시험 및 표준확립을 위한 스트레처블 디바이스 및 기준물질 개발에 이르기까지 다양한 적용이 가능합니다. 초미세 공정 과정에 대한 in-situ 모니터링을 위하여 nm 분해능을 갖는 새로운 개념의 초고분해능 현미경 기술과 같은 다양한 광측정 장비기술을 개발하고자 합니다. 세계적으로 경쟁력 있는 레이저 공정 장비기술 개발을 위해 산업체(소자, 장비, 센서), 의료기관, 연구기관과의 밀접한 협력체계를 구축하고 활발히 교류하고 있습니다.

주요 연구분야
  • 펨토초 레이저 기반 초정밀 나노 공정 장비 개발
  • In-situ 초고속 초정밀 나노공정 광 측정 장비 개발
  • 레이저 변조 초고분해능 현미경 기술 개발
  • 습식 패터닝 불가능한 단일 원자층 신소재 패터닝 공정 개발
  • 나노다이아몬드 공구 및 광섬유 3차원 패터닝 공정 개발
  • 녹내장 진단을 위한 안압 측정용 스트레처블 디바이스 및 RM 공정 기술 개발
  • 안압 측정용 RM 공정 기술 기반 신개념 안압 측정 원리 개발
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원자물성측정팀

원자물성측정팀은 원자수준에 이르는 극히 정밀한 측정을 구현하여 물질의 물리적 성질을 미시적으로 관찰하고 이해하는 연구를 수행하고 있습니다. 측정기술의 진보를 위해서 첨단의 탐침기반 측정기술과 새로운 측정기술을 개발하고 있습니다. 실험적 연구결과의 이론적 해석과 예측 연구도 병행하고 있습니다.

주요 연구분야
  • 초고진공 저온 주사 터널링 현미경 및 초고진공 변온 원자 힘 현미경 기반 전자소재 미시 물성 측정기술 개발
  • 반도체 불순물 원자의 거동과 전자구조 연구
  • 나노물질 구조 및 전자특성 열전 측정기술 개발
  • DFT(밀도함수론) 기반 전자구조 분석
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장비인프라팀

장비인프라팀은 장비인프라 구축 및 구현 기술 고도화를 기반으로 첨단 측정 장비 개발을 위한 협력 연구를 목표로 하고 있습니다. 장비인프라팀은 신호 처리 알고리즘, 장비 제어부 구현·가속화, 기구부 설계·제작, 그리고 불확도 기반 측정 장비 성능 평가 등 측정 장비 전반에 필수적인 인프라 분야 전문가로 구성되어, 장비 개발과 고도화 수요에 기민하게 대응하고 있습니다.

주요 연구분야
  • 측정 장비의 신호 처리 및 표준 규격 알고리즘 개발 협력
  • 장비 제어 하드웨어·소프트웨어 구현 및 FPGA 기반 가속화 협력
  • 장비 기구부 설계 및 제작 협력
  • 측정 장비 성능 표준 시험 절차서 및 불확도 평가 협력
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