길이표준그룹

• 레이저 간섭계 기반 초정밀 선형치수 측정표준기술 개발
• 국가 최상위 각도 측정표준 확립 및 교정시험 시스템 개발
• 현미경/회절계 광학영상 기반 2D 격자 좌표/치수 측정기술 개발
• 반도체/디스플레이 공정용 고속/대면적 형상 측정 장비/기술 개발
• 스마트팩토리 대응 다차원 변위/각도/형상 측정 센서 개발
• 장거리/대형물 3D 형상 및 공간정보 측정 연구
• 미래 절대거리 측정표준 핵심 장비/기술 연구

길이형상표준팀

• 고속 다차원 모션/자세/형상 측정용 smart vision 솔루션 개발
• 디지털 코드 기반 절대좌표 엔코더 센서 실용화 연구
• 정밀스테이지 및 로봇에 대한 on-machine 성능평가/현장교정 연구
• 광학영상해석 기반 대면적 표면형상 측정 장비/기술 개발
• 장거리/대형물 측정용 3D ToF 카메라 및 LiDAR 원천기술 개발
• (측정표준연구 담당분야) 게이지블록, 선형치수, 각도, 진직도, 평면도, 레이저간섭계, 장거리 측량기, 2D 형상치수 인증표준물질 등

멀티스케일길이측정팀

• 대형 유리기판 두께 프로파일 측정기술 개발
• 대영역 실리콘 웨이퍼 두께/굴절률/휨량 동시 측정기술 개발
• 고민감도/고속 두께 측정을 위한 분광기 개발
• 단차 및 거칠기 상용표준물질 개발
• 광빗 기반 절대거리 측정기술 개발
• 3D 프린터 및 X-ray CT 형상치수 측정표준 확립 연구
• (측정표준연구 담당분야) 레이저 광주파수/파장, 표면거칠기, 단차, 진원도, 3차원 좌표측정기, 나노 단차/두께 인증표준물질 등