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첨단측정장비연구소

첨단측정장비연구소 직원, 연락처, 주요연구분야 표
소속분야 구성원 이메일 전화번호 업무
양자자기이미징팀 팀장 심정현 이메일 전화번호

반도체측정장비팀

  • 반도체 공정장비 상태진단용 웨이퍼(평판형)형 센서 개발
  • 반도체 공정용 광측정 센서 및 융복합 장비 개발
  • 반도체 공정장비 TTTM (tool to tool matching)용 고정밀 측정장비 기술개발
  • 반도체 공정 장비용 소재 부품 성능 및 신뢰성 측정 기술 개발과 테스트 베드 구축

광영상측정표준팀

  • 복합 자유곡면 및 다층막 나노소자 3D 분석·측정기술 개발
  • 회절한계 이하 초고분해능·광시야 이미징 측정기술 개발
  • 민군겸용 적응광학계, 레이저 무기체계 및 고해상도 광영상장비 기술 개발
  • 가상·증강현실 디바이스의 광특성 측정기술 개발 및 표준화 확립

우주광학팀

  • 우주용 고해상도 광학탑재체 개발
  • 지상용 극한환경 대응 광학계 개발
  • 초정밀 대구경 광부품 측정 및 제작기술 개발
  • 대형평면, 자유곡면, 비구면 측정/교정

연구장비플랫폼팀

  • 연구장비 핵심 요소기술 및 부품·모듈 개발
  • 연구장비 측정·분석 알고리즘 및 소프트웨어 개발
  • 연구장비 하드웨어·소프트웨어 신뢰성 및 성능 평가를 위한 플랫폼 개발
  • 측정소급체계에 기반한 신뢰성 및 성능평가 시험절차서 개발

레이저나노공정장비팀

  • 펨토초 레이저 기반 초정밀 나노 공정 장비 개발
  • In-situ 초고속 초정밀 나노공정 광 측정 장비 개발
  • 레이저 변조 초고분해능 현미경 기술 개발
  • 나노 공정, 나노물질 이미지 및 분광분석 측정장비기술 개발
  • 습식 패터닝 불가능한 단일 원자층 신소재 패터닝 공정 개발
  • 나노다이아몬드 공구 및 광섬유 3차원 패터닝 공정 개발
  • 녹내장 진단을 위한 안압 측정용 스트레처블 디바이스 및 RM 공정 기술 개발
  • 안압 측정용 RM 공정 기술 기반 신개념 안압 측정 원리 개발

원자물성측정팀

  • 초고진공 저온 주사 터널링 현미경 및 초고진공 변온 원자 힘 현미경 기반 전자소재 미시 물성 측정기술 개발
  • 반도체 불순물 원자의 거동과 전자구조 연구
  • 나노물질 구조 및 전자특성 열전 측정기술 개발
  • DFT(밀도함수론) 기반 전자구조 분석

장비인프라팀

  • 측정 장비의 신호 처리 및 표준 규격 알고리즘 개발 협력
  • 장비 제어 하드웨어·소프트웨어 구현 및 FPGA 기반 가속화 협력
  • 장비 기구부 설계 및 제작 협력
  • 측정 장비 성능 표준 시험 절차서 및 불확도 평가 협력

전략기획팀

  • 해당 연구분야 발전전략 및 사업 기획 실무 주관
  • 정책전략부와 연계한 정책 수립, 발전전략, 사업/과제기획 협업
  • 타 연구분야 간 정보공유 및 융합·협력 추진
  • 전문분야 외부위원회 및 대정부 활동 수행
양자자기이미징팀 송남웅 이메일 전화번호
양자자기이미징팀 오상원 이메일 전화번호
양자자기이미징팀 이성주 이메일 전화번호
양자자기이미징팀 황성민 이메일 전화번호