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첨단측정장비연구소

첨단측정장비연구소 직원, 연락처, 주요연구분야 표
소속분야 구성원 이메일 전화번호 업무
첨단측정장비연구소 소장 강상우 이메일 전화번호

반도체측정장비팀

  • 반도체 공정장비 상태진단용 웨이퍼(평판형)형 센서 개발
  • 반도체 공정용 광측정 센서 및 융복합 장비 개발
  • 반도체 공정장비 TTTM (tool to tool matching)용 고정밀 측정장비 기술개발
  • 반도체 공정 장비용 소재 부품 성능 및 신뢰성 측정 기술 개발과 테스트 베드 구축

광영상측정표준팀

  • 복합 자유곡면 및 다층막 나노소자 3D 분석·측정기술 개발
  • 회절한계 이하 초고분해능·광시야 이미징 측정기술 개발
  • 민군겸용 적응광학계, 레이저 무기체계 및 고해상도 광영상장비 기술 개발
  • 가상·증강현실 디바이스의 광특성 측정기술 개발 및 표준화 확립

우주광학팀

  • 우주용 고해상도 광학탑재체 개발
  • 지상용 극한환경 대응 광학계 개발
  • 초정밀 대구경 광부품 측정 및 제작기술 개발
  • 대형평면, 자유곡면, 비구면 측정/교정

연구장비플랫폼팀

  • 연구장비 핵심 요소기술 및 부품·모듈 개발
  • 연구장비 측정·분석 알고리즘 및 소프트웨어 개발
  • 연구장비 하드웨어·소프트웨어 신뢰성 및 성능 평가를 위한 플랫폼 개발
  • 측정소급체계에 기반한 신뢰성 및 성능평가 시험절차서 개발

레이저나노공정장비팀

  • 펨토초 레이저 기반 초정밀 나노 공정 장비 개발
  • In-situ 초고속 초정밀 나노공정 광 측정 장비 개발
  • 레이저 변조 초고분해능 현미경 기술 개발
  • 나노 공정, 나노물질 이미지 및 분광분석 측정장비기술 개발
  • 습식 패터닝 불가능한 단일 원자층 신소재 패터닝 공정 개발
  • 나노다이아몬드 공구 및 광섬유 3차원 패터닝 공정 개발
  • 녹내장 진단을 위한 안압 측정용 스트레처블 디바이스 및 RM 공정 기술 개발
  • 안압 측정용 RM 공정 기술 기반 신개념 안압 측정 원리 개발

원자물성측정팀

  • 초고진공 저온 주사 터널링 현미경 및 초고진공 변온 원자 힘 현미경 기반 전자소재 미시 물성 측정기술 개발
  • 반도체 불순물 원자의 거동과 전자구조 연구
  • 나노물질 구조 및 전자특성 열전 측정기술 개발
  • DFT(밀도함수론) 기반 전자구조 분석

장비인프라팀

  • 측정 장비의 신호 처리 및 표준 규격 알고리즘 개발 협력
  • 장비 제어 하드웨어·소프트웨어 구현 및 FPGA 기반 가속화 협력
  • 장비 기구부 설계 및 제작 협력
  • 측정 장비 성능 표준 시험 절차서 및 불확도 평가 협력

전략기획팀

  • 해당 연구분야 발전전략 및 사업 기획 실무 주관
  • 정책전략부와 연계한 정책 수립, 발전전략, 사업/과제기획 협업
  • 타 연구분야 간 정보공유 및 융합·협력 추진
  • 전문분야 외부위원회 및 대정부 활동 수행
첨단측정장비연구소 박솜이 이메일 전화번호
첨단측정장비연구소 나영재 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 팀장 제갈원 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 김정형 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 김준오 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 문지훈 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 성대진 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 이효창 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 임인태 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 임종연 이메일 전화번호
반도체측정장비팀 조용재 이메일 전화번호
광영상측정표준팀 팀장 김영식 이메일 전화번호
광영상측정표준팀 강필성 이메일 전화번호
광영상측정표준팀 안희경 이메일 전화번호
광영상측정표준팀 이혁교 이메일 전화번호
광영상측정표준팀 전병혁 이메일 전화번호
광영상측정표준팀 이재현 이메일 전화번호
우주광학팀 팀장 김학용 이메일 전화번호
우주광학팀 송재봉 이메일 전화번호
우주광학팀 문일권 이메일 전화번호
우주광학팀 양호순 이메일 전화번호
우주광학팀 이윤우 이메일 전화번호
우주광학팀 이재협 이메일 전화번호
우주광학팀 이회윤 이메일 전화번호
연구장비플랫폼팀 팀장 박인용 이메일 전화번호
연구장비플랫폼팀 강훈 이메일 전화번호
연구장비플랫폼팀 오가와 이메일 전화번호
연구장비플랫폼팀 윤달재 이메일 전화번호
연구장비플랫폼팀 정해원 이메일 전화번호
레이저나노공정장비팀 팀장 정세채 이메일 전화번호
레이저나노공정장비팀 조한샘 이메일 전화번호
레이저나노공정장비팀 이주인 이메일 전화번호
레이저나노공정장비팀 이흥순 이메일 전화번호
원자물성측정팀 팀장 여호기 이메일 전화번호
원자물성측정팀 구자용 이메일 전화번호
원자물성측정팀 문창연 이메일 전화번호
원자물성측정팀 엄대진 이메일 전화번호
원자물성측정팀 조상희 이메일 전화번호
장비인프라팀 윤달재 이메일 전화번호
장비인프라팀 강남구 이메일 전화번호
장비인프라팀 김보경 이메일 전화번호
장비인프라팀 김주황 이메일 전화번호
장비인프라팀 배문섭 이메일 전화번호
장비인프라팀 팀장 정인일 이메일 전화번호
장비인프라팀 조복래 이메일 전화번호
장비인프라팀 서영섭 이메일 전화번호