- 평판형 플라즈마 측정 기술 -

▲ 기술이전 협약을 체결한 KRISS 박현민 원장(좌)과

㈜파월코퍼레이션의 강창수 대표(우)

1월 17일(월), KRISS-(주)파월코퍼레이션 간의 기술이전 협약식이 행정동에서 개최됐다. 이번에 기술이전 계약을 체결한 플라즈마 측정 기술은 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 변수를 실시간으로 측정하는 기술이다.

반도체 핵심 공정에 사용되는 플라즈마의 상태를 측정하고 안정적으로 유지하는 것은 매우 중요하다. 반도체의 생산성·수익성의 척도인 수율은 곧 반도체 생산 공정의 안정성에 달려있기 때문이다.

기존 플라즈마 측정 센서는 변수를 직접 측정하는 것이 아닌 웨이퍼의 온도 혹은 전압 균일도를 측정하는 간접 측정 방식을 사용했다. 간접 측정 센서는 공정을 멈추고 센서를 삽입해 측정하는 방식이므로 공정 이상을 실시간으로 감지하기 어렵고, 수율을 떨어뜨린다는 단점이 있었다.

이효창 선임연구원·김정형 책임연구원이 개발한 플라즈마 측정 기술은 가동 장비를 멈추지 않고도 공정에 사용되는 플라즈마 밀도값 및 균일도를 실시간으로 측정할 수 있으며, 측정 불확도 또한 2% 이내로 세계 최고 수준이다.

▲ 이효창 선임연구원이 평판형 플라즈마 측정 기술에 대해 설명하는 모습

이번 기술이전을 통해 양 기관은 평면형 플라즈마 측정 기술이 적용된 정전 척*(ESC) 개발에 힘을 모을 예정이다. ㈜파월코퍼레이션은 1999년 설립 이후 반도체와 디스플레이 생산에 필요한 장치 부품을 개발해왔으며 그중 정전 척을 주력 상품으로 생산한다. 기술혁신을 통한 차세대 반도체 공정 핵심 부품 개발로 소부장 국산화를 앞당기는 것은 물론 국가 반도체 산업 경쟁력을 한층 강화할 것으로 기대된다.

* 정전 척(Electrostatic Chuck) : 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부 전극에 고정해 주는 반도체 공정 핵심 부품

기술이전 책임자인 이효창 선임연구원은 “김정형 박사님과 함께 개발한 플라즈마 센서 원천 기술이 국내 부품 기업에 기술 이전되어 감회가 새롭다”라며 “기업과의 지속적인 협력을 바탕으로 반도체 부품 국산화를 위해 힘 쏟겠다”라고 소감을 밝혔다.

▲ KRISS-(주)파웰코퍼레이션 기술이전 협약식 기념사진