진공소재측정팀 소개
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진공소재측정팀은 고진공 환경에서 소재의 물성 측정기술을 연구하며 구체적으로는 ALD(원자층증착) 화학증착소재 물성측정 기술, 플라즈마 환경에서 코팅소재의 실시간 파티클 측정 및 수명 예측 기술등을 개발하였습니다. 이러한 기술 개발을 통해 반도체/디스플레이/배터리 분야의 소재 측정 기술 발전을 선도하고자 합니다. 아울러 화학증착소재물성 참조표준데이터센터를 운영하여 국가참조표준을 개발 및 보급하고 산업체에 다양한 기술 및 데이터를 제공하고 있습니다.
주요 연구분야
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1
증기압 측정기술 연구
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2
열안정성 측정기술 연구
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3
상전이 측정기술 연구
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4
오염원 측정기술 연구
주요성과
- 화학증착소재 장기 열안정 측정기술 개발(2D Nuclea Magnetic Resonance(NMR) 분석기술 등)
- 화학증착소재 물성 불확도절차 개발 및 참조표준 생산(참조 표준 31건 생산/수집)
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