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연구활동

EM나노메트롤로지팀 소개

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EM나노메트롤로지팀은 전자현미경을 이용한 저차원 나노소재의 In-situ 및 실환경 나노복합물성 측정기술 개발 및 표준화 연구를 하고 있습니다. 이를 통해 미래혁신산업의 융복합 핵심 측정기술 개발에 기여합니다.

주요 연구분야

  • /error/img/no_image.gif 1 나노입자 크기, 나노박막 두께 측정 표준화
  • /error/img/no_image.gif 2 전자현미경 기반 In-situ 전기-기계 복합물성 측정기술 개발
  • /error/img/no_image.gif 3 전자현미경 기반 In-situ AFM 측정기술 개발
  • /error/img/no_image.gif 4 액상환경을 포함한 실환경 전자현미경 측정기술 개발

주요성과

  • 액상의 흐름과 관련된 모든 부품의 교체가 가능한 유동 환경 구현용 액상 투과전자현미경 홀더 개발
  • 결함 및 기포가 없는 향상된 계면특성을 갖는 2D 소재 적층구조체 제작기술 개발
  • 주사전자현미경을 이용한 MoS 2의 층수 판별 및 광결정 적층박막의 두께 측정 기술 개발

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