펩인프라팀 소개
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팹인프라팀은 마이크로/나노스케일 소자를 제작할 수 있는 KRISS 공용팹의 시설장비 유지관리 및 팹 사용자 교육 및 안전관리를 지원합니다.
마이크로/나노 공정 개발과 소자 개발이 필요한 팹 사용자에게 기술을 지원하고자 합니다.
주요 연구분야
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1
KRISS 공용팹 시설장비 유지관리 및 팹 사용자 관리
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2
나노 공정기술 개발
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3
공용팹 사용자에게 공정 및 소자제작 기술 지원
주요성과
- 양자소자 제작용 ICP nano etcher 및 Nb sputter 장비 공정기술 최적화
- 초미세패턴 구조 제작을 위한 전자빔 리소그라피 시스템 장비 성능평가
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