본문으로 바로가기

연구활동

펩인프라팀 소개

TOP
  • /error/img/no_image.gif
  • /error/img/no_image.gif
  • /error/img/no_image.gif

팹인프라팀 소개

팹인프라팀은 마이크로/나노스케일 소자를 제작할 수 있는 KRISS 공용팹의 시설장비 유지관리 및 팹 사용자 교육 및 안전관리를 지원합니다. 마이크로/나노 공정 개발과 소자 개발이 필요한 팹 사용자에게 기술을 지원하고자 합니다.

주요 연구분야

  • /error/img/no_image.gif 1 KRISS 공용팹 시설장비 유지관리 및 팹 사용자 관리
  • /error/img/no_image.gif 2 나노 공정기술 개발
  • /error/img/no_image.gif 3 공용팹 사용자에게 공정 및 소자제작 기술 지원

주요성과

  • 양자소자 제작용 ICP nano etcher 및 Nb sputter 장비 공정기술 최적화
  • 초미세패턴 구조 제작을 위한 전자빔 리소그라피 시스템 장비 성능평가

다른 그룹 소개 보기

QUICK MENU

QUICK MENU 원하시는 서비스를 클릭하세요!

등록된 퀵메뉴가 없습니다.

등록된 배너가 없습니다.