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연구활동

표면분석팀 소개

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표면분석팀은 반도체 및 디스플레이 등 첨단산업에 활용되는 표면분석 기술을 개발하고 그에 대한 소급체계 확립, 국제표준 개발 및 인증표준물질 개발을 통해 국가표준을 확립하고 있습니다. 또한 이러한 국가표준을 보급하여 산업현장의 측정표준을 확립하도록 기여함으로써 산업체의 경쟁력 향상에 기여하고 있습니다.

주요 연구분야

  • /error/img/no_image.gif 1 초박막 두께측정, 조성분석 기술 개발 및 표준 확립
  • /error/img/no_image.gif 2 표면분석 기술 개발 및 표준 확립 (CCQM 및 ISO/TC-201 등)
  • /error/img/no_image.gif 3 표면분석을 위한 전산모사기술 개발 및 응용
  • /error/img/no_image.gif 4 표면분석 커뮤니티 활동 (측정클럽, 심포지엄 및 교육 등)
  • /error/img/no_image.gif 5 인증표준물질 개발 (다층박막, 합금박막, 산화막 등)

주요성과

  • Medium Energy Ion Scattering(MEIS)와 Transmission Electron Microscopy(TEM)를 이용한 산화물 초박막 절대 두께 측정법 확립
  • 고유전율 산화물 초박막의 절대 두께 측정 및 인증 기술 확보
  • 상호보정법에 의한 초박막 두께 측정-상호보정법 불확도 계산 프로그램 개발

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