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연구활동

레이저나노공정장비팀 소개

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레이저나노공정장비팀은 초정밀-고속 광 측정 장치를 탑재한 초고속 레이저 기반 나노공정장비 기술확보를 위해 펨토초 레이저 나노 공정 기술 및 장비 기술을 개발하고 있습니다. 펨토초 레이저 기반 나노공정은 기존의 습식 공정으로는 어려웠던 단일 원자층 신소재 소자의 초미세 패터닝 공정과 녹내장 진단을 위한 안압계 시험 및 표준확립을 위한 스트레처블 디바이스 및 기준물질 개발에 이르기까지 다양한 적용이 가능합니다. 초미세 공정 과정에 대한 In-situ 모니터링을 위하여 nm 분해능을 갖는 새로운 개념의 초고분해능 현미경 기술과 같은 다양한 광측정 장비기술을 개발하고자 합니다. 세계적으로 경쟁력 있는 레이저 공정 장비기술 개발을 위해 산업체(소자, 장비, 센서), 의료기관, 연구기관과의 밀접한 협력체계를 구축하고 활발히 교류하고 있습니다.

주요 연구분야

  • /error/img/no_image.gif 1 펨토초 레이저 기반 초정밀 나노 공정 장비 개발
  • /error/img/no_image.gif 2 In-situ 초고속 초정밀 나노공정 광 측정 장비 개발
  • /error/img/no_image.gif 3 레이저 변조 초고분해능 현미경 기술 개발
  • /error/img/no_image.gif 4 나노 공정, 나노 물질 이미지 및 분광분석 측정장비기술 개발
  • /error/img/no_image.gif 5 습식 패터닝이 불가능한 단일 원자층 신소재 패터닝 공정 개발
  • /error/img/no_image.gif 6 나노다이아몬드 공구 및 광섬유 3차원 패터닝 공정 개발
  • /error/img/no_image.gif 7 녹내장 진단을 위한 안압 측정용 스트레처블 디바이스 및 RM 공정 기술 개발
  • /error/img/no_image.gif 8 안압 측정용 RM 공정 기술 기반 신개념 안압 측정 원리 개발

주요성과

  • 드림바이오스(주) 환경기업과 토양 내의 유류 오염을 UV 광으로 실시간 측정하는 원천 기술 개발
  • 촉매에서 가장 산업화 진행 정도가 큰 TiO와 Caron nano-material 간의 합성에 대해 베트남 재료연구소와 국제공동연구 수행

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