길이표준그룹 소개
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길이표준그룹은 SI 기본단위인 ‘미터(m)’의 정의를 구현하고 선형치수, 각도, 형상, 복합구조물 및 표면조직 등의 길이/형상 관련
물리량에 대한 국가측정표준을 확립하여 유지·향상시키며, 대외 교정·시험·CRM 서비스를 제공하는 임무를 수행합니다.
더 나아가, 산업 및 과학기술 전반에 걸친 길이/형상 측정 신수요에 대응하여 미래 측정표준과 첨단 장비·기술 솔루션을
개발하여 적시에 보급할 수 있도록 연구영역을 확대하고 있습니다.
주요 연구분야
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1
광 주파수 안정화 레이저 광원 시스템 연구
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2
지구관측 대응 광학물성 측정표준 기술 개발
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3
국가 최상위 각도 측정표준 확립 및 교정시험 시스템 개발
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4
현미경/회절계 광학영상 기반 2D 격자 좌표/치수 측정기술 개발
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5
반도체/디스플레이 공정용 고속/대면적 형상 측정 장비/기술 개발
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6
스마트팩토리 대응 다차원 변위/각도/형상 측정 센서 개발
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7
장거리/대형물 3D 형상 및 공간정보 측정 연구
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8
미래 절대거리 측정표준 핵심 장비/기술 연구
주요성과
- 박막/후막 복합 구조/두께 동시 측정 기술 개발
- 파장영역 간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼의 두께/굴절력/형상 동시 측정 기술 개발
- 단차 및 표면 거칠기 통합 CRM 개발
- Time-of-Flight CMOS 카메라 소자 기술 개발
- 광학 현미경 기반 선폭 측정표준 확립
- 회전스테이지 on-machine 성능 평가/교정 기술 개발
그룹 내 팀 소개
길이형상표준팀
길이형상표준팀은 길이/형상 분야에 확립한 측정표준 및 소급체계의 유지·향상을 위한 연구와 더불어, 인공지능, 가상·증강 현실, IoT 센서, 초연결성, 자율주행 등으로 일컬어지는 첨단 산업기술의 융합을 통해 가시화될 미래 사회와 스마트팩토리 제조업 플랫폼이 요구하는 “신개념 다차원 변위/각도/형상 동시측정 광학영상센서”, “ToF 기반 3D 공간정보 측정기술”, 현장측정 신뢰성을 제고하기 위한 “on-machine 성능 평가 및 교정 기술”을 개발하는데 연구역량을 집중하고 있습니다.
주요 연구분야
- 고속 다차원 모션/자세/형상 측정용 smart vision 솔루션 개발
- 디지털 코드 기반 절대좌표 엔코더 센서 실용화 연구
- 정밀스테이지 및 로봇에 대한 on-machine 성능평가/현장교정 연구
- 광학영상해석 기반 대면적 표면형상 측정 장비/기술 개발
- 장거리/대형물 측정용 3D ToF 카메라 및 LiDAR 원천기술 개발
- (측정표준연구 담당분야) 게이지블록, 선형치수, 각도, 진직도, 평면도, 레이저간섭계, 장거리 측량기, 2D 형상치수 인증표준물질 등
멀티스케일길이측정팀
멀티스케일길이측정팀은 국가주력산업(반도체/디스플레이) 경쟁력 제고와 신기술융합 사회/산업 인프라 구현에 필수적인 차세대 길이/형상 측정표준의 확립과 보급을 목표로, 수 nm ~ 수십 m 영역에 걸친 멀티스케일 길이측정 핵심기술의 개발과 다양한 관련 응용연구를 수행하고 있습니다. 국가 최상위 길이표준인 레이저 광주파수부터, 복합형상, 3차원 좌표 측정기에 이르는 측정표준의 확립·유지·향상 연구와 나노 단차 및 거칠기 인증표준물질의 개발·보급 업무를 담당하고 있고, 미래 측정표준 및 응용연구 분야로서 차세대 m 급 절대거리 측정기술 개발과 함께 ㎜-㎛ 영역 (Si 웨이퍼, 대형유리기판, TSV 등) 두께/형상 측정 및 ㎚ 영역 박막두께 측정 연구를 산업계와의 지속적인 기술협력을 통해 연구결과가 상용화로 이어질 수 있도록 노력하고 있습니다.
주요 연구분야
- 대형 유리기판 두께 프로파일 측정기술 개발
- 대영역 실리콘 웨이퍼 두께/굴절률/휨량 동시 측정기술 개발
- 고민감도/고속 두께 측정을 위한 분광기 개발
- 단차 및 거칠기 상용표준물질 개발
- 광빗 기반 절대거리 측정기술 개발
- 3D 프린터 및 X-ray CT 형상치수 측정표준 확립 연구
- (측정표준연구 담당분야) 레이저 광주파수/파장, 표면거칠기, 단차, 진원도, 3차원 좌표측정기, 나노 단차/두께 인증표준물질 등
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