소재·부품·장비 다변화 긴급 기술지원 안내

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목적

KRISS는 소재 · 부품 · 장비의 다변화를 위해 노력하는 기업을 응원합니다.
긴급 기술지원이 가능한 분야는 다음과 같습니다.

반도체 산업 관련 신뢰성 평가 제공가능 항목
대분류 중분류 소분류 분석 및 측정
서비스 가능 분야
공정 공정상태측정 리크, 공정가스, 플라즈마 부품 및 내구성, 온도, 수분, 압력, 유속 진공시스템 리크, 공정가스 상태, 부품 내구성, 공정온도특성, 공정수분, 공정유속특성
소재 박막물성측정 거칠기, 두께, 열물성, 광물성, 패턴분석, 조성, 강도, 결정, 경도, 형상 박막두께, XRR, XPS, 박막 열물성, 열전도도, 박막 굴절율, EL(광전자소자분석), Raman PL, PL(반도체소재 광발광 특성분석), Micro 강도, Nano 강도, TEM, XRD, D-SIMS, 간섭계, 융합현미경, XPS이용 표면조성분석
공정가스물성 측정 증기압, 가스 성분분석 박막증착용 소재 증기압, 증착소재 불순물
부품 진공부품 성능평가 탈기체시험, 진공펌프, 진공코팅부품, 진공게이지/진공기밀성, 반도체진공재료 Outgassing(탈기체), 펌프 특성, 진공코팅 내구성, 오염입자측정, 진공상태 및 특성, 반도체재료 공정특성
기타 성능평가 광학센서, 히터, FAB 오염물질, 액체유량계, 기체유량계, 웨이퍼형상(워피지), 웨이퍼 알파방출률 공정진단특성, 광삼각법, Fiber, 균일도 및 내구성, 정량분석, 정밀도 및 정확도분석, 간섭계, 웨이퍼 단위 면적당 알파 표면 방출률
기타 소재 · 부품 · 장비의 다변화와 관련한 시험, 기술상담 등에 대해서도 문의하시면 정성을 다해 도움을 드리도록 하겠습니다.

지원요청 방법 안내

  • 원스톱 지원센터 : 080-9988-333
  • 요청사항 접수 : 바로가기